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石英玻璃纯度

     纯度是石英玻璃的重要指标,对理化性能和使用性能影响甚大,如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等;此外,  用于半导体工业的石英玻璃,对纯度的要求更为苛刻,微量的杂质将给半导体材料的电性能和寿命带来严重的影响。由于半导体材料的纯度要求控制在ppb数量级以下,  因此石英玻璃则应控制在ppm数量级以适应半导体工业的需要。  B的分凝系数近于1,最难除掉,是最有害的杂质之一,Cu、Fe、Ti等影响半导体的寿命,  K、Na、Li是单晶材料产生微缺陷的有害杂质。本厂为半导体工业服务已有20余年的历史,并始终致力于去除上述有害杂质的研制工作。本厂产品纯度见表1。

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